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所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，就是要有可靠的真空密封構造。為了保證真空爐的真空性能，真空熱處理爐結構設計中必須道循一個基本原則，就是爐體要采用氣密焊接，同時在爐體上盡量少開或者不開孔，少采用或者避免采用動密封結構，以盡量減少真空泄露的機遇。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出裝置也都必須設計密封構造。
蒸汽壓低大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是真空與高溫下工作的因而對這些材料提出了耐高溫。輻射成果好，導熱系數小等要求。對抗氧化性能懇求不高。所以，真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構料。這些資料在大氣狀態下極易氧化，因此，通例熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態下工作。這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的利用壽命。
采用低電壓大電流：真空容器內，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高的電壓下，會產生輝光放電現象。真空熱處理爐內，嚴重的會產生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。同時在電熱元件結構設計時要采取有效辦法，如盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的產生。
熱處理展-工業爐展-2024第二十四屆廣州國際熱處理、工業爐展覽會-巨浪展覽—The 24th China(Guangzhou)Int’l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition
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