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金融界 2024 年 9 月 17 日消息，天眼查知識產權信息顯示，青島天仁微納科技有限責任公司申請一項名為“一種高可控性納米壓印晶圓熱處理監測方法“，公開號 CN202411135057.2，申請日期為 2024 年 8 月。
專利摘要顯示，本發明公開了一種高可控性納米壓印晶圓熱處理監測方法，屬于熱處理監測技術領域，包括以下步驟：S1、在模板的目標圖形與納米壓印晶圓的熱處理過程中，采集晶圓的實時溫度；S2、生成晶圓的溫度碼；S3、確定熱處理過程是否存在加工異常。本發明為實時監測的晶圓溫度構建二維溫度向量和三維溫度向量，生成特定溫度碼，再結合整個時刻的溫度中位數，確定熱處理過程中是否存在溫度異常；本發明可以顯著提高納米壓印晶圓熱處理過程的可控性和穩定性，提高了溫度檢測的靈敏度和準確性，避免出現加工失誤。
熱處理展-工業爐展-2025第二十五屆廣州國際熱處理、工業爐展覽會-巨浪展覽—The 25th China(Guangzhou)Int''l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition
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