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金融界2024年10月1日消息，國家知識產權局信息顯示，上海集成電路裝備材料產業創新中心有限公司取得一項名為“一種熱處理裝置”的專利，授權公告號CN 221783165 U，申請日期為2023年12月。
專利摘要顯示，本實用新型公開了一種熱處理裝置，包括工藝腔室和傳感器組件；工藝腔室內設置有承托邊環，承托邊環用于支撐晶圓；傳感器組件設置于工藝腔室內，傳感器組件包括用于發射信號的第一傳感器和用于接收第一傳感器發射信號的第二傳感器；當承托邊環位于第一位置時，承托邊環遮擋第一傳感器發射的信號，當承托邊環位于第二位置時，第二傳感器接收第一傳感器發射的信號；或，當承托邊環位于第一位置時，第二傳感器接收第一傳感器發射的信號，當承托邊環位于第二位置時，承托邊環遮擋第一傳感器發射的信號；承托邊環的第二位置位于承托邊環的第一位置的上方。本實用新型提供的熱處理裝置，避免了機械手臂在移出晶圓時與承托邊環發生碰撞。
熱處理展-工業爐展-2025第二十五屆廣州國際熱處理、工業爐展覽會-巨浪展覽—The 25th China(Guangzhou)Int''l Heat Treatment, Industrial Furnace Exhibition
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